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高温扩散炉

更新时间:2022-08-12 20:09:32

简要描述:

本产品可应用于半导体行业的高温氧化、金属热扩等技术领域,具有温度控制精准、恒温区温场范围大、可编程自动控制和超温自动断电保护等特点,目前已成功应用于光通信领域的光学波导芯片制作。可提供不同炉体尺寸、炉管材料和坩埚材料的定制任务。


温控范围室温~1200℃      温控精度±1℃


恒温区横向长度10cm-100cm 

恒温曲径向长度10cm-150cm 

炉管材料高纯石英、高纯刚玉等

坩埚材料高纯石英、高纯刚玉等

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